Установка предназначена для объемной химической обработки п/п пластин, пластин из сапфира, кварца и т.п. в различных невзрывоопасных химических жидких реагентах с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой методом изменения поверхностного натяжения жидкости на границе раздела сред «жидкость-газ» (эффект Марангони).
Очистка пластин, в стандартных фторопластовых кассетах, осуществляется путем подачи тех-нологических сред: воды, растворов химических реагентов, озвученных мегазвуком на частотах от 0,7 до 3МГц. Мегазвуковая энергия создает кавитацию и микроструи на очищаемых поверхностях пластин. Мегазвуковая «стимуляция» процессов очистки поверхности, отмывки, травления, проявления является единственным методом, реализующим технологический процесс изготовления субмикронных микроструктур уровня 0,19; 0,13; 0,09 мкм. Для этого, ванны химической обработки оснащены накладными платами с пьезопреобразователями, излучающими акустические волны вдоль пластин, находящихся в кассете.
Сушка пластин посредством эффекта Марангони заключается в использовании высокой очи-щающей способности реакционной зоны взаимодействия паров ИПС с водой на границе раздела фаз. По сравнению с центрифугированием, метод Марангони лучше удаляет с поверхности пла-стин частицы размером до 90нм в 7,5 раз, до 65нм в 20 раз, до 40нм в 21 раз. Кроме того, однород-ность поверхности пластины обработанной по методу Марангони значительно превосходит одно-родность, получаемую при обработке центрифугированием как при индивидуальной обработке пластины, так и, тем более, при групповом центрифугировании пластин в кассете. Кроме того, при обработке сверхтонких пластин в центрифугах весьма часто возникает бой пластин из-за действия центробежных сил. В сушке с использованием эффекта Марангони, такой опасности нет.
Для сушки, пластины поднимаются из фторопластовой кассеты, находящейся в жидкости, в транспортную кассету, которая расположена крышке ванны. При этом в газовое пространство над жидкостью в ванне подается смесь паров изопропилового спирта с азотом, что обуславливает прохождение пластин при подъеме через границу раздела жидкость-газ и их сушку.
Состав установки:
| полипропиленовый каркас | 1 шт. |
| ванна мегазвуковой химической обработки из фторопласта, оснащенная пла-тами-преобразователями | 1 шт. |
| стоп-ванна из полипропилена для проведения процесса отмывки деионизо-ванной водой | 1 шт. |
| ванна для проведения процесса финишной отмывки пластин деионизованной и процесса их сушки при прохождении через границу «деионизованная воза — смесь азота с парами изопропанола» | 1 шт. |
| мегазвуковой генератор мощностью 500 ВТ/1 МГц | 1 шт. |
| блок подготовки смесь паров изопропанола с азотом | 1 шт. |
| блок подачи химических реагентов | 1 шт. |
| автооператор | 1 шт. |
| блок управления | 1 шт. |
Показатели применения:
| диаметр обрабатываемых пластин, мм | 100, 150, 200 |
| метод обработки | групповой, в кассетах |
| перенос кассет из ванны в ванну | автооператором |
| количество кассет с пластинами, одновременно обрабатываемых в одной ванне | 2 |