Установка химической обработки пластин с сушкой по методу марангони
Наше предприятие готово по вашим требованиям разработать, изготовить, поставить и запустить установку химической обработки пластин со встроенным блоком финишной отмывки и сушки пластин по методу Марангони.
Установка представляет собой стандартную установку химобработки с двумя ваннами химобработки, стоп-ванной и блоком финишной отмывки, совмещенным с сушкой по методу Марангони.
Установка рассчитана на обработку одновременно двух кассет емкостью 25 пластин каждая для пластин диаметром 76, 100, 150 мм или одной кассеты емкостью 25 пластин диаметра 200 мм.
Использование блока отмывки и сушки по методу Марангони вместо сушки центрифугированием позволяет сделать установку более компактной и, тем самым, уменьшить занимаемую установкой площадь в чистом помещении.
Структурная схема установки химической обработки со встроенным блоком отмывки и сушки методом Марангони представлена на рисунке.
В состав установки входят:
- станина 1 шт.
- ванна химической обработки 2 шт.
- стоп-ванна предварительной отмывки 1 шт.
- блок финишной отмывки и сушки по методу Марангони 1 шт.
- блок подачи химических реактивов (по отдельному договору) 2 шт.
- пульт управления 1 шт.
Все детали установки, контактирующие с обрабатываемыми изделиями и рабочими жидкостями, выполнены из инертных материалов (фторопласт Ф4, полипропилен).
Сушка пластин по методу Марангони заключается в использовании высокой очищающей способности реакционной зоны взаимодействия паров изопропилового спирта с водой на границе раздела фаз. По сравнению с центрифугированием, этот метод в несколько раз лучше удаляет частицы с поверхности пластин.
Алгоритм работы следующий:
Две стандартных кассеты с пластинами вручную помещаются на дно ванны, после чего крышка закрывается. В ванну подается деионизованная вода. После проведения цикла финишной отмывки пластин (контроль качества отмывки осуществляется по показаниям удельного электрического сопротивления воды на выходе из ванны), над поверхностью жидкости в ванне создается поток газовой смеси азота и паров изопропанола. Через несколько секунд после этого пластины специальным устройством поднимаются из жидкости и входят в пазы сухих транспортных кассет, установленных в крышке ванны. При прохождении границы жидкость/газ происходит сушка пластин. После поднятия, пластины фиксируются в транспортных кассетах.. Затем, для обеспечения гарантированного качества сушки, пластины в транспортных кассетах обдуваются потоком азота, нагретого до +50° С.
После этого открывается крышка ванны, транспортные кассеты с сухими пластинами и пустые технологические кассеты извлекаются из ванны.
Все технологические процессы, кроме загрузки-выгрузки, выполняются автоматически, под управлением микропроцессорной системы. Операция загрузки-выгрузки кассет выполняется вручную.
Особенно эффективен этот метод при сушке тонких пластин, так как они, из-за повышенной ломкости, не могут сушиться центрифугированием. Целесообразно использовать его и в производстве структур с глубокими канавками, например в производстве МЭМС.
Кроме того, сушка по методу Марангони обеспечивает полное удаление воды из глубоких канавок топологии, что невозможно достигнуть центрифугированием.
На фото показан фрагмент линии химической обработки со встроенным модулем отмывки/сушки по методу Марангони, успешно работающим в кристальном производстве ЗАО «ВЗПП-Микрон», г.Воронеж.
Модулем отмывки/сушки по методу Марангони может быть разработана в виде автономной установки как для полупроводниковых пластин, так и для отмывки и сушки изделий в производствах жестких дисков, фотошаблонов, экранных и оптических стекол , металлокерамических и керамических плат для гибридных микросборок, оптических линз и т.д..
В зависимости от требований заказчика установка может быть оснащена блоком обеспыливания воздуха, а может быть выполнена без блока обеспыливания при размещении в чистой зоне
Срок изготовления и поставки Заказчику — 6 месяцев
Ориентировочная цена установки химобработки и сушки - 2,2 миллиона рублей и может колебаться в зависимости от требований Заказчика.