Установка гидромеханической и мегазвуковой отмывки пластин
1. Назначение
1.1. Установка гидромеханической и мегазвуковой отмывки пластин НТО 41.00.00.000 предназначена для отмывки полупроводниковых пластин с использованием щетки, или струей деионизованной воды или моющего раствора, озвученной мегазвуком, и сушки пластин центрифугированием.
1.2. Установка изготовлена в климатическом исполнении УХЛ, категории размещения 4 по ГОСТ 15150-69.
1.3. Питание установки осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В ±10% частоты 50 Гц. Потребляемая мощность, не более 0,5 кВт.
1.4. Для эксплуатации установки необходимо:
подать в нее:
- сжатый осушенный и очищенный воздух по ГОСТ 174433-80, по трубопроводу Ду 10мм, давлением, МПа - 0,4-0,6;
- деионизованную воду, марки А ОСТ 11.029.003-80, по трубопроводу Ду 15мм давлением, МПа - 0,2-0,3;
- залить в бак концентрированный раствор моющего вещества;
подключить ее:
- к вакуумной заводской магистрали трубкой Ду 4мм;
- к вытяжной вентиляции с расходом, м3/час, не менее - 50;
- к заводской канализации, Dy мм, не менее - 50.
2. Устройство и работа установки
2.1. Установка состоит из
двух механизмов приема-выдачи пластин,
механизма перемещения пластин левого, механизма перемещения пластин правого,
механизма транспортирования пластин,
блока гидромеханической и мегазвуковой отмывки,
пульта управления,
блока управления,
блока подачи деионизованной воды и реактивов.
2.2. Кассета с пластинами устанавливается в левый механизм приема-выдачи пластин и механизмом перемещения пластин поочередно выдаются на исходную позицию - столик с вакуумной присоской. Схваты механизма транспортирования выдвигаются вперед. Левый схват поднимает пластину над столиком, переносит ее вправо в блок гидромеханической отмывки, опускает на столик с вакуумной присоской блока гидромеханической отмывки и уходит назад и влево на исходную позицию. По заданной программе в блоке происходит отмывка и сушка пластины. По окончании процесса механизм транспортирования выдвигается вперед правым схватом под эту пластину, а левым схватом под новую пластину, подлежащую обработке и уже находящуюся на столике механизма перемещения пластин. Пластины поднимаются над столиками, и механизм транспортирования переносит обработанную пластину в правый механизма перемещения пластин, а новую пластину в блок гидромеханической отмывки. Схваты опускают пластины на на соответствующие столики и уходят назад и влево на исходную позицию. Обработанная пластина правым механизмом перемещения задвигается в кассету, установленную в правом механизме приема-выдачи, а в блоке гидромеханической отмывки происходит обработка находящейся там новой пластины. Далее цикл повторяется.
Отдельно смонтированный блок обеспечивает подачу в установку деионизованной воды и реагентов (моющих растворов).
2.3. Габаритные размеры и масса установки приведены в таблице 1.
На установке можно производить отмывку и сушку полупроводниковых пластин 150 мм в автоматическом режиме.
Производительность установки — 50 пластин в смену.
Заполнение бака реагентами выполняется вручную.
3. Комплект поставки
3.1. Комплект поставки установки приведен в табл.1
Таблица 1
| № | Наименование | К-во, шт | Габаритные размеры, мм | Масса, кг | ||
| 1 | Установка гидромеханической и мегазвуковой отмывки пластин | 1 | 850 | 1000 | 1180 | 160 |
| 2 | Блок подачи деионизованной воды и реагентов | 1 | 500 | 500 | 850 | 25 |
| 3 | Паспорт | |||||
Фото 1 — внешний вид установки на производственном участке;
Фото 2 — отмывка пластины щеткой.
