Блок подачи и фильтрации химических реагентов

Блок предназначен для фильтрации и дозированной подачи неорганических химических реагентов (HF, H2SO4, HNO3, H3PO4, NH4OH, H2O2 и др) в ванны установок химической обработки полупроводниковых пластин.

Подача химических реагентов осуществляется методом перекачивания пневматическими насоса-ми. Количество реагента, подаваемого блоком, контролируется счетчиком ходов штока пневмати-ческого насоса. Перекачиваемые химические реагенты проходят фильтрацию через имеющийся в блоке фильтр. Блок подачи химических реагентов выпускается в одно или двух секционном ис-полнении. Управление работой блока осуществляется посредством блока электропневматических клапанов контроллером установки химической обработки пластин.

СОСТАВ ОБОРУДОВАНИЯ И ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

	Односекционный	Двухсекционный
насос пневматический, 300л/час(по воде), напор не менее 0,2 МПа	1	2
фильтр для химреагента (тонкость фильтрации от 1,0 до 0,2 мкм)	1	2
количество подаваемых реагентов	1	2
габаритные размеры, (ШхДхВ), мм	500 х 550 х 2000	1000 х 550 х 2000
блок пневмоуправляемых клапанов	1	2
объем загрузки реагентов, не менее, л	40	40

Для эксплуатации на блок подключается:

к трубопроводу деионизованной воды под давлением (2 - 2,5)·105 Па (2-2,5 кгс/см2) по трубопро-воду не менее Ду 10мм;
к трубопроводу сжатого воздуха, очищенного от влаги, масла и пыли, под давлением 0,4-0,6 МПа (4-6 кгс/см2) с расходом не менее 1·10-2 м3/с (36 м3/ч);
к системе вытяжной вентиляции с расходом воздуха не менее 500 м3/ч;
к химстойкой канализации Ду =50 мм.

Безопасность эксплуатации блока отвечает требования СП 2.2.1.1312-03.

Аналогичные блоки поставлены на ОАО «Интеграл», г.Минск